Implantator cu sursă ECR

Diagramă instalație RECRIS
Fig. 1. Schema sinoptică a instalației RECRIS (K-HPA: Amplificator microunde 14 GHz cu klystron; SIT: sursă de înaltă tensiune; SAM: sursă alimentare magnet ECR; MA: magnet analizor 90°; SAMA: sursă alimentare magnet analizor; D: diagnoza fascicul)"

Descriere

Sursa de ioni grei cu stări înalte de sarcină RECRIS (Romanian ECR Ion Source) funcționează pe baza fenomenului de rezonanță electronică ciclotronică (ECR). În sursele de tip ECR se obține ionizarea profundă a atomilor gazului prezent în camera de plasmă prin ciocniri succesive cu electroni de energie relativ mare, obținuți prin încălzire stochastică într-o plasmă de tip ECR, formată prin absorbție rezonantă de energie de la un câmp electromagnetic de foarte înaltă frecvență și confinată prin suprapunerea unor câmpuri magnetice puternice axiale și radiale cu configurații speciale.

În figura 1 sunt ilustrate principalele subansambluri ale instalației RECRIS, iar în figura 2 este prezentată schematic structura sursei de ioni ECR cu funcționare la 14 GHz. Componentele care alcătuiesc instalația RECRIS se grupează în următoarele sisteme si subansamble:
1) Subansamblul suport sursă ECR
2) Subansamblul cameră de plasmă și teu de intrare
3) Sistemele magnetice axial și radial de confinare a plasmei
4) Sistemul de extracție și focalizare al fasciculului
5) Sistemul de microunde
6) Sistemul de alimentare cu gaz la presiune redusă
7) Sistemul de vid înalt
8) Sistemul de alimentare cu apă
9) Sistemul de alimentare cu energie electrică
10) Sistemul electric de comandă, control și protecție
11) Ecranul de radioprotecție
12) Magnetul analizor la 90°
13) Sisteme de transport si diagnoza a fasciculului
14) Pupitrul de comanda si control

Sursa ECR
Fig. 2 Schiță sursă ECR din cadrul instalației RECRIS

...

Referințe

[1] S. Dobrescu, L. Schachter, Review of Scientific Instruments 73, 567 (2002); doi: 10.1063/1.1425780